效率提高18% ASML最新极紫外光刻机设计完成

　　12月29日消息，据国外媒体报道，阿斯麦是全球目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商，在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C这两款极紫外光刻机之后，他们还在研发更先进、效率更高的极紫外光刻机。

　　阿斯麦极紫外光刻机

　　在10月14日发布的三季度财报中，阿斯麦就披露他们新一代的极紫外光刻机TWINSCAN NXE:3600D，计划在明年年中开始出货，生产效率较目前的产品提升18%。

　　而从外媒的报道来看，除了NXE:3600D，阿斯麦还在研发高数值孔径的极紫外光刻机NXE:5000系列，设计已经基本完成。

　　外媒在报道中也表示，虽然阿斯麦NXE:5000高数值孔径极紫外光刻机的设计已基本完成，但商用还需时日，预计在2022年开始商用。

　　作为一款高数值孔径的极紫外光刻机，NXE:5000系列的数值孔径，将提高到0.55，阿斯麦目前已推出的TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C这两款极紫外光刻机，数值孔径为0.33。

　　值得注意的，在阿斯麦高数值孔径的极紫外光刻机方面，月初也出现过相关的消息。

　　在月初报道CEO彼得·维尼克等阿斯麦高管，到访三星电子并参观三星电子的半导体工厂时，外媒表示三星希望获得阿斯麦更多的极紫外光刻机、先于台积电获得高数值孔径极紫外光刻机。